在CVD專用氫氣發(fā)生器進(jìn)行升級時(shí)注意事項(xiàng)

發(fā)布來源：上海祗美電子科技有限公司　　發(fā)布日期: 2021-10-13　　訪問量:2204

1、系統(tǒng)保護(hù)

升級后，原有的保護(hù)還是必須存在的，就是壓力保護(hù)，當(dāng)在線干燥塔與系統(tǒng)壓力差大于標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，是不會切換的，干燥系統(tǒng)會反復(fù)沖壓，使在線干燥塔的壓力值與系統(tǒng)壓力值無限接近，起碼小于標(biāo)準(zhǔn)。

2、切換方向性

原用切換裝置在外面是看不到具體的切換方向，只能通過觸摸屏上的顯示畫面才能判斷哪個(gè)干燥塔在線，哪個(gè)干燥塔再生。升級后，調(diào)節(jié)控制器外有指向坐標(biāo)，可以直接判定在線干燥塔和再生干燥塔，但需要安裝時(shí)，初始位置的設(shè)定必須調(diào)節(jié)器和四通閥開通方向一致。

3、開機(jī)時(shí)，先用原料氫置換系統(tǒng)，從閥放空，待系統(tǒng)內(nèi)的高純氮置換干凈后，根據(jù)用戶的原料氫內(nèi)的含氫量和所需高純氫量，來選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量，然后再通電加熱鈀管，從閥流出高純氫。

4、切換用時(shí)

原用馬達(dá)切換是瞬時(shí)切換，動(dòng)作快，升級后調(diào)節(jié)器切換一次的動(dòng)作用時(shí)是標(biāo)準(zhǔn)，比原馬達(dá)用時(shí)要長，但切換平穩(wěn)，系統(tǒng)壓力不會產(chǎn)生過大的波動(dòng)。升級后程序中電磁閥開啟的時(shí)間要進(jìn)行重新設(shè)定，否則會在切換過程中開啟一次，隨有壓力保護(hù)會瞬間關(guān)閉，但是也容易使系統(tǒng)出口壓力產(chǎn)生下降，易造成下級設(shè)備（壓縮機(jī)）跳機(jī)。

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